Art

J-GLOBAL ID：200902140534053744   Reference number：97A0155520

Sputtered thin film of Nb3Al produced with single target.

単体ターゲットで作製したNb₃Alスパッタ薄膜

Author (6)： AGATSUMA HIKARU (電総研) ,  TATEISHI HIROSHI (電総研) ,  ARAI KAZUAKI (電総研) ,  SAITO TAKASHI (フジクラ) ,  SADAKATA NOBUYUKI (フジクラ) ,  NAKAGAWA MIKIO (フジクラ)
Material： 低温工学・超電導学会講演概要集  (低温工学・超電導学会研究発表会講演概要集)
Volume： 55th  Page： 109  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： G0564B  ISSN： 0919-5998  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (2)：

• 新井和昭. 電気学会論文誌A. 1993, 113, 53
• AGATSUMA, K. IEEE Trans. on Mag. 1996, 32, 4, 2925

Terms in the title (5)： 単体 ,  ターゲット ,  作製 ,  スパッタ ,  薄膜