Art

J-GLOBAL ID：200902141211936392   Reference number：02A0493623

Precise Structuring Using Femtosecond Lasers.

フェムト秒レーザを用いた精密構造形成

Author (1)： OSTENDORF A (Laser Zentrum Hannover e.V, Hannover, DEU)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 30  Issue： 5  Page： 221-225  Publication year： May. 15, 2002 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： laser fluence

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JST classification (3)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Special machining  (QC04000Y) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (17)：

• 1) H. K. Toenshoff, A. Ostendorf, S. Nolte, F. Korte, and T. Bauer: Proceedings of SPIE: First International Symposium on Laser Precision Microfabrication 4088 (2000) p. 136.
• 2) M. Lenzner, J. Krueger, S. Sartania, Z. Cheng, C. Spielmann, G. Mourou, W. Kautek, and F. Krausz: Phys. Rev. Lett. 80 (1998) 4076.
• 3) R. Sauerbrey and G. H. Petit: Appl. Phys. Lett. 55 (1989) 421.
• 4) W. L. Kruer: The Physics of Laser Plasma Interaction (Addison-Wesley, Redwood City, Ca, 1988).
• 5) B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchick, B. W. Shore, and M. D. Perry: Phys. Rev. Lett. 74 (1995) 2248.

Terms in the title (3)： フェムト秒レーザ ,  精密 ,  構造形成