Art
J-GLOBAL ID：200902141269211754   Reference number：01A0993204

ヘテロダイン干渉法による動的nm計測のデジタル化 位相分割・検出のデジタル化

Author (3)：
TAKAHASHI YASUHIDE

About TAKAHASHI YASUHIDE

(広島工大)

About 広島工大

, 
NAKAMURA TAKESHI

About NAKAMURA TAKESHI

(広島工大 大学院)

About 広島工大 大学院

, 
CHO DAIIN

About CHO DAIIN

(広島工大 大学院)

About 広島工大 大学院


Material：
精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)

About 精密工学会大会学術講演会講演論文集


Volume： 2001  Issue： 秋季  Page： 633  Publication year： Sep. 10, 2001 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
*displacement measurement

About displacement measurement

,...
Semi thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
ヘテロダイン干渉

About ヘテロダイン干渉

,...
   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0993204&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0914A") }}
JST classification (1)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle 
(AD05020O)

About Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle

Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
ヘテロダイン干渉法

About ヘテロダイン干渉法

, 
計測

About 計測

, 
デジタル化

About デジタル化

, 
位相

About 位相


Return to Previous Page

TOP

BOTTOM