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J-GLOBAL ID：200902141832103955   Reference number：01A0283088

Studies on reactive sputtering process of TiN films using small mass analyzers.

小型質量分析計を用いたTiN膜の反応性スパッタリング過程の追跡

Author (3)： BANNO T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MICHIZONO S (High Energy Accelerator Res. Organization, Tsukuba, JPN) ,  SAITO Y (High Energy Accelerator Res. Organization, Tsukuba, JPN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 169/170  Page： 757-762  Publication year： Jan. 15, 2001 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *mass spectrometry ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mass spectrometry  (CC03013N)

Terms in the title (5)： 質量分析計 ,  TiN膜 ,  反応性スパッタリング ,  過程 ,  追跡