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J-GLOBAL ID：200902141866415131   Reference number：96A0918674

Surface charge analyzer. SCA2500, Wafer surface impurity inspection equipment .

サーフェス・チャージ・アナライザー ウェーハ表面不純物検査装置・SCA2500
Author (1)：
TOYODA MINORU

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(伯東)

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Material：
クリーンテクノロジー  (Clean Technology)

About クリーンテクノロジー


Volume： 6  Issue： 10  Page： 52-53  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  Document type： Article
Article type： 紹介的記事  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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wafer

About wafer

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JST classification (1)：
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Measurement,testing and reliability of solid-state devices 
(NC03040G)

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ウェーハ表面

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