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J-GLOBAL ID：200902142078768321   Reference number：00A0908566

Using Alicyclic Polymers in Top Surface Imaging Systems to Reduce Line Edge Roughness.

Author (7)： SOMERVELL M H (Univ. Texas at Austin, TX) ,  FRYER D S (Univ. Wisconsin, WI) ,  OSBORN B (Univ. Texas at Austin, TX) ,  PATTERSON K (Univ. Texas at Austin, TX) ,  CHO S (Univ. Texas at Austin, TX) ,  BYERS J (International SEMATECH, TX) ,  WILLSON C G (Univ. Texas at Austin, TX)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3999  Issue： Pt.1  Page： 270-282  Publication year： 2000 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： REDUCE ,  LINE ,  EDGE