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J-GLOBAL ID：200902142365703494   Reference number：01A0944713

Surface-controlled growth of LaAlO₃ thin films by atomic layer epitaxy.

原子層エピタクシーによるLaAlO₃薄膜の表面制御成長

Author (5)： NIEMINEN M (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  SAJAVAARA T (Univ. Helsinki, Helsinki, FIN) ,  RAUHALA E (Univ. Helsinki, Helsinki, FIN) ,  PUTKONEN M (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  NIINISTOE L (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN)
Material： Journal of Materials Chemistry  (J Mater Chem)
Volume： 11  Issue： 9  Page： 2340-2345  Publication year： Sep. 2001 
JST Material Number： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic layer epitaxy ,...
Semi thesaurus term： metalorganic atomic layer epitaxy

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (4)： 原子層エピタクシー ,  LaAlO3 ,  薄膜 ,  成長