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J-GLOBAL ID：200902143563205145   Reference number：99A0693254

Mechanical Properties of TiN Films Deposited on Aluminium Substrates by Arc Ion Plating Method.

アークイオンプレーティング法によるアルミニウム基板へのTiN膜の形成とその機械的特性

Author (5)： MIKI YASUHIRO (奈良県工技セ) ,  TANIGUCHI TADASHI (奈良県工技セ) ,  KUSAKA KAZUYA (徳島大 工) ,  HANABUSA TAKAO (徳島大 工) ,  MAITANI EIJI (徳島県工技セ)
Material： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
Volume： 65  Issue： 635  Page： 1635-1641  Publication year： Jul. 25, 1999 
JST Material Number： F0227B  ISSN： 0387-5008  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ion plating ,...
Semi thesaurus term： titanium nitride

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Reference (12)：

• 辻邦彦. 神戸製鋼技報. 1992, 42, 57-59
• 英崇夫. 日本機械学会材料力学部門講演会講演論文集. 1994, 8, 316-317
• PERRY, A. J. Thin solid Films. 1989, 170, 63-70
• BULL, S. J. Surf. Coat. Technol. 1988, 36, 743-748
• 荒木弘治. 熱処理. 1997, 37, 238-242

Terms in the title (4)： アークイオンプレーティング法 ,  アルミニウム ,  TiN膜 ,  機械的特性