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J-GLOBAL ID：200902143847126830   Reference number：99A0723837

Direct nanometer-scale patterning by the cantilever oscillation of an atomic force microscope.

原子間力顕微鏡のカンチレバー振動による直接のナノメータスケールパターニング

Author (6)： HYON C K (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  CHOI S C (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  HWANG S W (Univ. Seoul, Seoul, KOR) ,  AHN D (Univ. Seoul, Seoul, KOR) ,  KIM Y (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  KIM E K (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 75  Issue： 2  Page： 292-294  Publication year： Jul. 12, 1999 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： gallium arsenide ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (2)： 原子間力顕微鏡 ,  カンチレバー