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J-GLOBAL ID：200902144846459247   Reference number：94A0318690

Micromachine Technology in the Industrial Science and Technology Frontier Program.

産業科学技術研究開発制度における「マイクロマシン技術」

Author (1)： KITAHARA TOKIO (マイクロマシンセンター)
Material： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
Volume： 97  Issue： 905  Page： 268-271  Publication year： Apr. 1994 
JST Material Number： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： research and development ,...

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JST classification (1)： Research and development  (QA01040P)

Terms in the title (4)： 研究 ,  開発 ,  制度 ,  マイクロマシン技術