Art

J-GLOBAL ID：200902145213256033   Reference number：96A0258512

Manufacturing of Microstructures Using UV-Sensitive Photopolymer. 4th Report. Manufacturing of 3-Dimensional Microstructures by Writing with a Focused Beam.

紫外線感光性樹脂を使ったマイクロストラクチュアの製造 第4報 集束ビーム描画法による三次元部品の製作

Author (5)： NAKAMOTO TAKESHI (名古屋大 工) ,  YAMAGUCHI KATSUMI (名古屋大 工) ,  ABRAHA P (名古屋大 大学院) ,  ITO AKIRA (名古屋大 大学院) ,  MISHIMA KUNIHIRO (名古屋大 大学院)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 62  Issue： 594  Page： 677-682  Publication year： Feb. 1996 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： micromachining ,...
Semi thesaurus term： crosslinking

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JST classification (1)： Machining and finishing in general  (YH04111G)

Reference (22)：

• FAN, L. S. IEEE Trans. on Electron Devices. 1988, 35-6, 724
• MEHREGANY, M. IEEE Trans. on Electron Devices. 1988, 35-6, 719
• EHRFELD, W. Proc. of 1st Int. Conf. on Micro Electro Opto, Mechanic Systems and Components. 1990, 521
• GUCKEL, H. Journal of Micromechanics and Microengineering. 1991, 1-3, 135
• 山口勝美. 機論. 1991, 57-542, C, 3400

Terms in the title (7)： 紫外線 ,  感光性樹脂 ,  ストラクチュア ,  集束 ,  ビーム ,  描画 ,  製作