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J-GLOBAL ID：200902145573742265   Reference number：95A0979957

Film Preparation of Solid Oxide Fuel Cell Using RF Sputtering Method.

高周波スパッタリング法による燃料電池用薄膜固体電解質の作製

Author (5)： OKAYAMA HIDEO (大阪工大) ,  KONISHI NAGAYOSHI (大阪工大) ,  KUBO TSUKASA (大阪工大) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大) ,  ISA HIROMU (大阪工大)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 38  Issue： 9  Page： 834  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 高周波スパッタリング ,  燃料電池 ,  薄膜 ,  固体電解質 ,  作製