Art

J-GLOBAL ID：200902145888481427   Reference number：01A1076181

Study of the reaction at Cu/3C-SiC interface.

Cu/3C-SiC界面における反応の研究

Author (5)： AN Z (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  OHI A (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  HIRAI M (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  KUSAKA M (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  IWAMI M (Okayama Univ., Okayama, JPN)
Material： Surface Science  (Surface Science Letters)
Volume： 493  Issue： 1/3  Page： 182-187  Publication year： Nov. 01, 2001 
JST Material Number： C0129B  ISSN： 0039-6028  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Copper ,...
Semi thesaurus term： けい化銅

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JST classification (2)： Surface structure of semiconductors  (BK15030A) ,  Solid-solid interface  (CB12060M)

Terms in the title (4)： Cu ,  3C-SiC ,  界面 ,  研究