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J-GLOBAL ID：200902146192218965   Reference number：01A0192146

Silicon-on-Nothing(SON). An Innovative Process for Advanced CMOS.

“無”上シリコン(SON) 最先端CMOS用の革新プロセス

Author (9)： JURCZAK M (France Telecom, Meylan, FRA) ,  SKOTNICKI T (France Telecom, Meylan, FRA) ,  PAOLI M (France Telecom, Meylan, FRA) ,  TORMEN B (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  MARTINS J (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  REGOLINI J L (France Telecom, Meylan, FRA) ,  LENOBLE D (France Telecom, Meylan, FRA) ,  PANTEL R (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  MONFRAY S (France Telecom, Meylan, FRA)
Material： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Trans Electron Devices)
Volume： 47  Issue： 11  Page： 2179-2187  Publication year： Nov. 2000 
JST Material Number： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MOSFET ,...
Semi thesaurus term： SiGe

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JST classification (1)： Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (5)： シリコン ,  SON ,  最先端 ,  CMOS ,  プロセス