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J-GLOBAL ID：200902146899153800   Reference number：02A0807913

Application of CVD Diamond Coated Drills for Drilling of Single Crystal Si.

CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工ヘの適用

Author (5)： KAMEOKA SEIJI (エムエムシーコベルコツール) ,  MASUDA TAKASHI (エムエムシーコベルコツール) ,  HAYASAKI HIROSHI (エムエムシーコベルコツール) ,  MOTONISHI SUGURU (エムエムシーコベルコツール) ,  UCHIDA HITOSHI (姫路工大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 68  Issue： 10  Page： 1362-1366  Publication year： Oct. 05, 2002 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： single crystal ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Other cutting  (QC02040C)

Reference (30)：

• MATSUMOTO, S. J. Mater. Sci. 1982, 17, 3106
• KAMO, M. J. Cryst. Growth. 1983, 62, 642
• 加茂睦和. 日本化学会誌. 1984, 10, 1642
• SETAKA, N. J. Mater. Res. 1989, 4, 664
• 佐藤洋一郎. 表面科学. 1989, 10, 183

Terms in the title (4)： CVDダイヤモンド ,  ドリル ,  単結晶Si ,  穴あけ加工