Art

J-GLOBAL ID：200902147374839198   Reference number：95A0422045

Laser-induced selective deposition of Ni-P alloy on silicon.

シリコン上のNi-P合金のレーザ誘起選択堆積

Author (4)： WANG J (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  FEI X (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  YU Z (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHAO G (Fudan Univ., Shanghai, CHN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 84  Issue： 4  Page： 383-389  Publication year： Apr. 1995 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (2)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Semiconductor-metal contacts  (BM03084G)

Terms in the title (5)： シリコン ,  Ni ,  P合金 ,  レーザ誘起 ,  堆積