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J-GLOBAL ID：200902148258352792   Reference number：00A0582754

Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers.

シリコンのマイクロマシニングによる超音波変換器

Author (7)： KHURI-YAKUB B T (Stanford Univ., CA, USA) ,  CHENG C-H (Stanford Univ., CA, USA) ,  DEGERTEKIN F-L (Stanford Univ., CA, USA) ,  ERGUN S (Stanford Univ., CA, USA) ,  HANSEN S (Stanford Univ., CA, USA) ,  JIN X-C (Stanford Univ., CA, USA) ,  ORALKAN O (Stanford Univ., CA, USA)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 39  Issue： 5B  Page： 2883-2887  Publication year： May. 30, 2000 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...

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JST classification (1)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N)

Reference (8)：

• 1) W. Khul, G. R. Schodder and F. K. Schodder: Acustica 4 (1954) 520.
• 2) M. I. Haller and B. T. Khuri-Yakub: IEEE Trans. UFFC, 43 (1996) 1.
• 3) I. Ladabaum, T. Soh, X. C. Jin, A. Atalar and B. T. Khuri-Yakub: IEEE Trans. UFFC, 45 (1998) 698.
• 4) W. P. Mason: Electromechanical Transducers and Wave Filters (1948) 2nd ed.
• 5) X. C. Jin, I. Ladabaum and B. T. Khuri-Yakub: IEEE/ASME J. Micro-Eelectro-Mechanical Syst. 7 (1998) 295.

Terms in the title (3)： シリコン ,  マイクロマシニング ,  超音波変換器