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J-GLOBAL ID：200902148367511760   Reference number：97A0343264

Amorphous Si-C-O Membranes for Gas Separation at High Temperature.

非晶質Si-C-O薄膜による高温気体分離

Author (3)： KUSAKABE KATSUMI (九大 工) ,  MOROOKA SEIJI (九大 工) ,  LI Z (九大 工)
Material： 固体の反応性討論会講演予稿集  (固体の反応性討論会要旨集)
Volume： 7th  Page： 77-80  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： L0839A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 非晶質Si ,  薄膜 ,  高温気体