Art

J-GLOBAL ID：200902148520809138   Reference number：95A0341682

0.15μm世代のマスク欠陥検査装置MC-100の開発 (第2報) 光学特性が検査性能におよぼす影響

Author (8)： SANADA YASUSHI (東芝) ,  TABATA MITSUO (東芝) ,  WATANABE TOSHIYUKI (東芝) ,  TOJO TOORU (東芝) ,  INOUE HIROSHI (東芝 生産技研) ,  YOSHINO HISAKAZU (トプコン) ,  TAYA MAKOTO (トプコン) ,  SATO TAKASHI (トプコン)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1994  Issue： Autumn 2  Page： 479-480  Publication year： Sep. 1994 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (7)： 世代 ,  マスク ,  欠陥検査装置 ,  MC ,  開発 ,  光学特性 ,  検査