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J-GLOBAL ID：200902149470236383   Reference number：94A0366457

パイブロスキャニング法による細穴内部形状測定の高速化

Author (3)： SAWAMOTO YOSHIMASA (東大 工) ,  MASUZAWA TAKAHISA (東大 工) ,  FUJINO MASATOSHI (東大 工)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1994  Issue： Spring 3  Page： 763-764  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 細穴 ,  内部形状 ,  高速化