Art

J-GLOBAL ID：200902150206347744   Reference number：95A0548759

Excimer laser ablation of PZT thin films on silicon cantilever beams.

Siカンチレバー上のPZT薄膜のエキシマレーザ・アブレーション

Author (4)： LAPPALAINEN J (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  FRANTTI J (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  MOILANEN H (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  LEPPAEVUORI S (Univ. Oulu, Oulu, FIN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 46  Issue： 1/3  Page： 104-109  Publication year： Jan. 1995 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： piezoelectric device ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (6)： Si ,  カンチレバー ,  PZT ,  薄膜 ,  エキシマレーザ ,  アブレーション