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J-GLOBAL ID：200902150532250858   Reference number：94A0366364

微粒シリカ砥石の製造に関する研究

Author (4)： NOGUCHI HIROYUKI (東大) ,  ABE YASUSHI (日本大) ,  CHO KAITO (東大) ,  NAKAGAWA TAKEO (東大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1994  Issue： Spring 2  Page： 511-512  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 微粒 ,  シリカ ,  砥石 ,  研究