Art

J-GLOBAL ID：200902151164218317   Reference number：97A0992686

GaN hexagonal microprisms with smooth vertical facets fabricated by selective metalorganic vapor phase epitaxy.

選択性有機金属気相エピタクシーによって作製した滑らかな垂直ファセットを持つGaN六角マイクロプリズム

Author (4)： AKASAKA T (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI Y (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  ANDO S (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI N (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 71  Issue： 15  Page： 2196-2198  Publication year： Oct. 13, 1997 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： MOCVD ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (7)： 選択性 ,  有機金属気相エピタクシー ,  作製 ,  垂直 ,  ファセット ,  GaN ,  マイクロプリズム