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J-GLOBAL ID：200902151250633360   Reference number：99A0483367

Reduction of the Loss of a Magnetic Thin-Film Inductor for a GHz-Drive Si-MMIC.

Si-MMIC用GHz帯磁性薄膜インダクタの低損失化

Author (9)： YAMAGUCHI MASAHIRO (東北大 電通研) ,  TAKAHASHI YUICHI (東北学院大 工) ,  SUEZAWA KENKICHI (東北大 電通研) ,  ARAI KEN'ICHI (東北大 電通研) ,  KIKUCHI SHINKI (東北学院大 工) ,  SHIMADA YUTAKA (東北大 科学計測研) ,  LI W D (東北大 科学計測研) ,  TANABE SHINJI (三菱電機 先端技総研) ,  ITO KENJI (三菱電機 先端技総研)
Material： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
Volume： 23  Issue： 4-2  Page： 1649-1652  Publication year： Apr. 15, 1999 
JST Material Number： Z0944A  ISSN： 0285-0192  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *MMIC ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (8)：

• 1) 斎藤貴伸,筒井和久,矢萩慎一郎,松倉祐輔,遠藤 浩,恵下 隆,彦坂康己:電気学会マグネティックス研究会資料, MAG-97-8 (1997)
• 2) 田邉信二,白木康博,高田政宏,山口正洋,荒井賢一:電気学会マグネティックス研究会資料, MAG-98-15 (1998)
• 3) 李 衛東,加藤和照,北上 修,島田 寛:日本応用磁気学会誌, 22, 449 (1998)
• 4) 末沢健吉,高橋祐一,山口正洋,荒井賢一,島田 寛,李 衛東,田邉信二,伊東健治:電気学会マグネティックス研究会資料, MAG-98-89 (1998)
• 5) M. Yamaguchi, Y. Takahashi, K. Suezawa, K. I. Arai, S. Kikuchi, Y. Shimada, W. D. Li, S. Tanabe and K. Ito : Appl. Phys.,

Terms in the title (6)： Si ,  MMIC ,  GHz ,  帯磁 ,  薄膜インダクタ ,  低損失