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J-GLOBAL ID：200902151991882081   Reference number：98A0378319

Submicron resolution measurement of stress in silicon by near-field Raman spectroscopy.

近視野Raman分光法によるけい素中の応力のミクロン以下の分解能の測定

Author (3)： WEBSTER S (Univ. Leeds, Leeds, GBR) ,  BATCHELDER D N (Univ. Leeds, Leeds, GBR) ,  SMITH D A (Univ. Leeds, Leeds, GBR)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 72  Issue： 12  Page： 1478-1480  Publication year： Mar. 23, 1998 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： scanning optical microscope ,...
Semi thesaurus term： Raman microspectroscopy

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JST classification (1)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (5)： 近視野 ,  Raman分光法 ,  けい素 ,  応力 ,  分解能