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J-GLOBAL ID：200902153633684947   Reference number：99A0179318

Fabrication and characterization of mechanical oscillator with nanometer scale.

ナノメートルオーダの機械振動子(ナノカンチレバー)の作成と評価

Author (3)： SAYA D (Univ. Tokyo) ,  KAWAKATSU H (Univ. Tokyo) ,  DE LABACHELERIE M (Lab. Physique et Metrologie des Oscillateurs, CNRS)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 59th  Issue： 1  Page： 412  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： ナノメートルオーダ ,  振動子 ,  ナノカンチレバー ,  評価