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J-GLOBAL ID：200902154088718959   Reference number：02A0795012

Surface Roughness of Microstructures Fabricated by LIGA Process.

LIGAプロセスにより作製した微細構造の表面粗さ

Author (4)： MEKARU H (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN) ,  YAMADA T (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN) ,  EN S (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN) ,  HATTORI T (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 19th  Page： 263-266  Publication year： May. 30, 2002 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： LIGA

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： LIGAプロセス ,  作製 ,  微細構造 ,  表面粗さ