Art

J-GLOBAL ID：200902154438160638   Reference number：97A0242984

Development of optical noncontact sensor for measurement of three-dimensional profiles using depolarized components of scattered light.

散乱光の非偏光成分を用いる三次元プロフィル測定のための光学的非接触センサの開発

Author (3)： MASHIMO K (Gunma Prefectural Industrial Technol., Gunma, JPN) ,  NAKAMURA T (Gunma Prefectural Industrial Technol., Gunma, JPN) ,  TANIMURA Y (National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
Material： Optical Engineering  (Opt Eng)
Volume： 36  Issue： 1  Page： 227-234  Publication year： Jan. 1997 
JST Material Number： B0577B  ISSN： 0091-3286  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： contactless measurement ,...

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JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (6)： 散乱光 ,  偏光成分 ,  プロフィル ,  光学 ,  非接触センサ ,  開発