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J-GLOBAL ID：200902155338309096   Reference number：94A0904364

Trisdimethylaminoantimony: a new Sb source for low temperature epitaxial growth of InSb.

トリジメチルアミノアンチモン InSbの低温エピタキシャル成長用の新しいSb原料

Author (4)： SHIN J (Univ. Utah, Utah, USA) ,  VERMA A (Univ. Utah, Utah, USA) ,  STRINGFELLOW G B (Univ. Utah, Utah, USA) ,  GEDRIDGE R W JR (Naval Air Warfare Center, California, USA)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 143  Issue： 1/2  Page： 15-21  Publication year： Oct. 1994 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： indium antimonide ,...
Semi thesaurus term： methylamines

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： InSb ,  低温 ,  エピタキシャル成長 ,  Sb ,  原料