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J-GLOBAL ID：200902155499815706   Reference number：97A0524478

Development of Homogenous Plasma at Atmospheric Pressure and Application to Plasma Process.

大気圧均質プラズマの実現とプラズマプロセスへの展開

Author (1)： KOGOMA MASUHIRO (上智大 理工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 44th  Issue： 0  Page： 1389  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 大気圧 ,  プラズマ ,  プラズマプロセス ,  展開