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J-GLOBAL ID：200902156281657560   Reference number：97A0542489

Pore Structure and Permeance of Amorphous Si-C-O Membranes with High Durability at Elevated Temperature.

高温において高耐久性を示す非晶質Si-C-O膜の細孔構造と透過性

Author (3)： LI Z (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  KUSAKABE K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MOROOKA S (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
Material： Separation Science and Technology  (Sep Sci Technol)
Volume： 32  Issue： 7  Page： 1233-1254  Publication year： Apr. 1997 
JST Material Number： D0435B  ISSN： 0149-6395  CODEN： SSTEDS  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： amorphous state ,...

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JST classification (1)： Membrane separation  (XD02120Z)

Terms in the title (4)： 高耐久性 ,  非晶質Si ,  細孔構造 ,  透過性