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J-GLOBAL ID：200902157061126544   Reference number：97A0178706

Thermoelectric Properties of (ZnO)₅In₂O₃ Thin Films Prepared by r.f. Sputtering Method.

r.f.スパッタ法により作製した(ZnO)₅In₂O₃薄膜の熱電特性

Author (4)： HIRAMATSU H (Nagoya Univ., Nagoya) ,  OHTA H (Nagoya Univ., Nagoya) ,  SEO W-S (Nagoya Univ., Nagoya) ,  KOUMOTO K (Nagoya Univ., Nagoya)
Material： 粉体および粉末冶金  (Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy)
Volume： 44  Issue： 1  Page： 44-49  Publication year： Jan. 1997 
JST Material Number： F0691A  ISSN： 0532-8799  CODEN： FOFUA2  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thermoelectromotive force ,...
Semi thesaurus term： Seebeck effect

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O)

Reference (14)：

• 1) C. Wood and D. Emin, Mat. Res. Soc. Symp. Proc, 24 (1984) 199.
• 2) R. Simon, J. Appl. Phys, 33 (1962) 1830.
• 3) M. Stordeur and W. Kuhnberger, phys. stat. sol. (b) 69 (1975) 377.
• 4) D. M. Rowe and C. M. Bhandari, in Proceedings of the 6th International Conference Thermoelectric Energy Conversion, the University of Texas at Arlington, 14th-16th Marcl; (1986) 43.
• 5) T. A. Christakudi, G. CH. Christakudis, and L. D. Borisova, phys. stat. sol. (a), 114 (1989) K201.

Terms in the title (5)： スパッタ法 ,  作製 ,  ZnO ,  薄膜 ,  熱電特性