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J-GLOBAL ID：200902157473523580   Reference number：00A0163773

Growth and tribological properties of amorphous hydrogenated carbon nitride produced by ion-beam technique.

イオンビーム手法により作製した非晶質の水素化した窒化炭素の成長およびトライボロジー特性

Author (5)： WU R L C (K Systems Corp., OH, USA) ,  MIYOSHI K (NASA Lewis Res. Center, OH, USA) ,  LANTER W C (K Systems Corp., OH, USA) ,  WRBANEK J D (K Systems Corp., OH, USA) ,  DEJOSEPH C A (Air Force Res. Lab., OH, USA)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 120/121  Page： 573-578  Publication year： Nov. 1999 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon compound ,...

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JST classification (3)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (8)： イオンビーム ,  手法 ,  作製 ,  非晶質 ,  水素化 ,  窒化炭素 ,  成長 ,  トライボロジー特性