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J-GLOBAL ID：200902158170114730   Reference number：97A0323045

Study on Fine Boring of Single Crystalline Silicon by EDM.

単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究

Author (5)： UNO YOSHIYUKI (岡山大 工) ,  KUBOTA SHIN'ICHIRO (岡山県工技セ) ,  YOKOMIZO SEIICHI (岡山県工技セ) ,  OKADA AKIRA (岡山大 工) ,  TANAKA HIDETO (化繊ノズル製作所)
Material： 電気加工学会誌  (Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers)
Volume： 30  Issue： 65  Page： 9-16  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： F0520B  ISSN： 0387-754X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： EDM ,...

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (6)：

• 江刺正喜. マイクロエレクトロメカニカルシステムズ(MEMS)の研究動向. マイクロマシンシンポジウム マイクロマシン技術の基礎と応用. 9
• 河田耕一. 微細放電加工の研究(第3報)-マイクロ機構の加工-. 電気加工学会誌. 1994, 28, 59, 1-10
• 庄野克房. 半導体技術. 1976, 上, 2
• 佐伯雄文. 工作物内電圧降下が高抵抗材料の放電加工に及ぼす影響. 1994年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 893
• 早川伸哉. 放電加工における単一パルス内での複数アーク点弧の観察. 1993年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 243

Terms in the title (4)： 単結晶シリコン ,  微細穴 ,  放電加工 ,  研究