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J-GLOBAL ID：200902158312521738   Reference number：02A0373036

Application of Synchrotron Radiation to Nano Maicro Manufacturing.

放射光による応用加工技術の現状と将来 放射光のナノ・マイクロ加工技術への応用

Author (1)： HATTORI TADASHI (姫路工大 高度産科技研)
Material： 溶接学会誌  (Journal of the Japan Welding Society)
Volume： 71  Issue： 3  Page： 135-144  Publication year： Apr. 05, 2002 
JST Material Number： G0090A  ISSN： 0021-4787  CODEN： YOGAA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： synchrotron radiation facility ,...
Semi thesaurus term： LIGA ,...

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JST classification (4)： Special machining  (QC04000Y) ,  Cyclic accelerators  (BE02020X) ,  Electroforming  (WC08040Y) ,  Molding process and its equipment in general  (YH04030C)

Reference (36)：

• Spring-8パンプレット. 2000
• HATTORI, T. Transducers' 97 CHICAGO. 1997, 25-28
• HISANAGA, M. Second Intern ational Symposium on Micro Machine and Human Science PROCEEDINGS. 1991, 43-46
• IDOGAKI, T. Trnasducers 95. 1995, 393-396
• 服部正. 電気学会論文誌E. 1996, 116, 2, 43-46

Terms in the title (5)： 放射光 ,  応用 ,  現状 ,  将来 ,  マイクロ加工