Art

J-GLOBAL ID：200902158508747815   Reference number：95A0800007

Quantitative electron-beam tester for defects in semiconductors (CL/EBIC/SDLTS system).

半導体欠陥の定量電子ビームテスタ(CL/EBIC/SDLTSシステム)

Author (2)： SEKIGUCHI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SUMINO K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 66  Issue： 8  Page： 4277-4282  Publication year： Aug. 1995 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： lattice defect ,...
Semi thesaurus term： EBIC ,...

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JST classification (2)： Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q) ,  Applications of electron beams and ion beams  (BD02070X)

Terms in the title (6)： 欠陥 ,  定量 ,  電子ビーム ,  テスタ ,  Cl ,  EBIC