Art

J-GLOBAL ID：200902159403809021   Reference number：01A0232462

半導体・液晶製造設備におけるガス供給系ユニットの課題 ガス供給系ユニットの商品質化・高信頼性化 施工から供給までの運用

Author (2)： WADA KEN'ICHI (巴商会) ,  GOTODA KAZUNORI (巴商会)
Material： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
Volume： 11  Issue： 1  Page： 10-13  Publication year： Jan. 01, 2001 
JST Material Number： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor process ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0232462&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L1138A") }}

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： 液晶 ,  製造設備 ,  ガス供給系 ,  商品 ,  質 ,  高信頼性 ,  施工 ,  運用