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J-GLOBAL ID：200902160333700998   Reference number：95A1017121

Recent Advances in Screw-Type Dry Vacuum Pumps.

機械式真空ポンプ スクリュー型ドライ真空ポンプの現状

Author (3)： IDE SHIGEO (樫山工業) ,  OZAWA OSAMU (樫山工業) ,  TSUTSUMI SHUZO (樫山工業)
Material： ターボ機械  (Turbomachinery)
Volume： 23  Issue： 11  Page： 657-663  Publication year： Nov. 1995 
JST Material Number： S0391B  ISSN： 0385-8839  CODEN： TKAICZ  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： screw pump ,...
Semi thesaurus term： trap(solid)

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JST classification (1)： Vacuum pumps  (QD04030I)

Reference (7)：

• 日本真空協会. 昭和62年2月研究会「ドライポンプの現状と将来」予稿集. 1987, 25
• 日本真空協会. 平成元年6月研究例会「ドライポンプ」予稿集. 1989, 9-40
• 日本真空協会. 技術報告. 真空. 1988, 31, 2, 100
• 実用真空技術総覧. 1990, 116-123
• 真空. 1990, 33, 7, 615-636

Terms in the title (3)： 真空ポンプ ,  スクリュー ,  現状