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J-GLOBAL ID：200902160594036432   Reference number：95A0079414

Evaluation of Plasma Generation Method by Finite Element Electromagnetic Field Analysis. High-rate Plasma Etching Technique for Continuous Surface Activation of Steel in Coating-1.

有限要索法電磁場解析による最適プラズマ発生方法の検討 めっきの連続活性化前処理のための高速プラズマエッチング技術-1

Author (4)： MORITA YOSHIKAZU (日新製鋼 鉄鋼研) ,  FUKUI YASUSHI (日新製鋼 鉄鋼研) ,  MIONO TADAAKI (日新製鋼 鉄鋼研) ,  SAITO MINORU (日新製鋼 鉄鋼研)
Material： 日新製鋼技報  (Nisshin Steel Technical Report)
Issue： 70  Page： 23-35  Publication year： Sep. 1994 
JST Material Number： F0232A  ISSN： 0387-2327  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： band steel ,...

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JST classification (1)： Other surface treatment  (WC08070F)

Terms in the title (7)： 索 ,  電磁場解析 ,  プラズマ発生 ,  めっき ,  活性化 ,  前処理 ,  プラズマエッチング技術