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J-GLOBAL ID：200902160611684800   Reference number：97A0937073

Researches on cutting a single crystal Si with diamond. (Report No. 1). Effects of tool rake angle.

単結晶Siのダイヤモンド切削に関する研究 (第1報) 工具すくい角の影響

Author (4)： EN KIO (東北大 大学院) ,  SUZUKI HIROFUMI (東北大 工) ,  KURIYAGAWA TSUNEMOTO (東北大 工) ,  SHOJI KATSUO (東北大 工)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1997  Issue： 秋季  Page： 166  Publication year： Sep. 1997 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (4)：

• NAKASUJI. Annals of the CIRP. 1990, 39/1, 89
• BLACKLY. Precision Engineering. 1991, 13, 2, 95
• YAN. Proc. of Intl. Conf. on MM21. 1997
• MALKIN. Annals of the CIRP. 1996, 45/2, 569

Terms in the title (6)： 単結晶Si ,  ダイヤモンド ,  切削 ,  研究 ,  工具 ,  すくい角