Art

J-GLOBAL ID：200902160982119803   Reference number：94A0089281

Fabrication of a one-dimensional microhole array by anodic oxidation of aluminum.

アルミニウムの陽極酸化による一次元マイクロホールアレイの作製

Author (3)： MASUDA H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  NISHIO K (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  BABA N (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 63  Issue： 23  Page： 3155-3157  Publication year： Dec. 06, 1993 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aspect ratio ,...
Semi thesaurus term： anodic oxidation

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JST classification (2)： Techniques for samples  (BA02070O) ,  Metallic thin films  (BK14030T)

Terms in the title (5)： アルミニウム ,  陽極酸化 ,  マイクロ ,  ホールアレイ ,  作製