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J-GLOBAL ID：200902161698134564   Reference number：97A0186102

Working characteristics of single crystal silicon by excimer laser.

エキシマレーザによる単結晶シリコンの加工特性

Author (3)： KUBOTA SHIN'ICHIRO (岡山県工技セ) ,  YOKOMIZO SEIICHI (岡山県工技セ) ,  UNO YOSHIYUKI (岡山大 工)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1995  Issue： Autumn 1  Page： 343-344  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (1)：

• 最新レーザ加工技術総覧. 393

Terms in the title (3)： エキシマレーザ ,  単結晶シリコン ,  加工特性