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J-GLOBAL ID：200902161706685184   Reference number：01A0349255

Ultraprecision Machining. Ultraprecision Polishing for Super Smooth Surface and Newly Proposed P-MAC Polishing.

超精密・超微細加工 スーパースムーズ鏡面研磨とP-MACポリシング

Author (1)： KASAI TOSHIO (埼玉大 大学院理工学研究科)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 22  Issue： 3  Page： 179-186  Publication year： Mar. 10, 2001 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,...

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JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (17)：

• 1) 谷口紀男:“材料科学シリーズ 6,材料と加工” (共立出版,1974).
• 2) T. Kasai, K. Horio, T. Karaki-Doy and A. Kobayashi: Annals of the CIRP, 39/1, 321 (1990).
• 3) 唐木俊郎:電通研成果報告第 21742号 (1984).
• 4) T. Izumitani and S. Adachi: Technical Digest at Topical Meeting on the Science of Polishing, OSA (1984) TuB-Al-1∼3.
• 5) N.J. Brown: Precision Engineering 9, 129 (1987).

Terms in the title (5)： 超精密 ,  微細加工 ,  鏡面研磨 ,  MAC ,  ポリシング