Art

J-GLOBAL ID：200902161717908452   Reference number：96A0673736

Effect of surface treatment on the adsorption kinetics of water vapor in a vacuum chamber.

真空チェンバー中での水蒸気の吸着カイネティクスへの表面処理効果

Author (4)： TUZI Y (ULVAC Corp., Kanagawa, JPN) ,  TANAKA T (ULVAC Corp., Kanagawa, JPN) ,  TAKEUCHI K (ULVAC Corp., Kanagawa, JPN) ,  SAITO Y (KEK-National Lab. High Energy Physics, Ibaraki, JPN)
Material： Vacuum
Volume： 47  Issue： 6/8  Page： 705-708  Publication year： Jun. 1996 
JST Material Number： E0347A  ISSN： 0042-207X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： vacuum vessel ,...

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JST classification (1)： Study of adsorption by physical means  (CB12043P)

Terms in the title (4)： 真空チェンバー ,  水蒸気 ,  吸着 ,  表面処理