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J-GLOBAL ID：200902163087929920   Reference number：99A1015489

Kinematic Analysis of the Planetary Train in Chemical Mechanical Planarization.

化学的機械的平坦化における遊星トレインの動的分析

Author (5)： HOCHENG H (National Tsing Hua Univ., TWN) ,  TSAI H Y (National Tsing Hua Univ., TWN) ,  LAI K C (Industrial Technol. Res. Inst., TWN) ,  LIN H Y (Industrial Technol. Res. Inst., TWN) ,  WU T C (Industrial Technol. Res. Inst., TWN)
Material： Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 1st International euspen Conference, 1999, Vol.1  (Precis Eng Nanotechnology Proc 1st Int euspen Conf 1999 Vol 1)
Page： 384-387  Publication year： 1999 
JST Material Number： K19990395  ISSN： 0945-0769  ISBN： 3-8265-6085-X  Document type： Proceedings
Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： 化学的機械的平坦化 ,  トレイン ,  動的分析