Art

J-GLOBAL ID：200902163208508677   Reference number：97A0614660

Micromachined microscanners for optical scanning.

光学走査のための微細加工マイクロスキャナー

Author (4)： KIANG M-H (Univ. California at Berkeley) ,  SOLGAARD O (Univ. California at Davis) ,  MULLER R S (Univ. California at Berkeley) ,  LAU K Y (Univ. California at Berkeley)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3008  Page： 82-90  Publication year： 1997 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 光学走査 ,  微細加工 ,  マイクロ ,  スキャナー