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J-GLOBAL ID：200902163291634719   Reference number：01A0448830

Selective ablation of AlN ceramic using femtosecond, nanosecond, and microsecond pulsed laser.

フェム秒、ナノ秒およびマイクロ秒のパルスレーザによるAlNセラミックの選択性アブレーション

Author (3)： HIRAYAMA Y (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  YABE H (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  OBARA M (Keio Univ., Yokohama, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 89  Issue： 5  Page： 2943-2949  Publication year： Mar. 01, 2001 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *aluminum nitride ,...

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JST classification (2)： Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Terms in the title (8)： 秒 ,  ナノ秒 ,  マイクロ秒 ,  パルスレーザ ,  AlN ,  セラミック ,  選択性 ,  アブレーション