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J-GLOBAL ID：200902163400902184   Reference number：00A0494957

Monolithic Microfabricated Valves and Pumps by Multilayer Soft Lithography.

多層ソフトリソグラフィーによってモノリシックに微細加工したバルブとポンプ

Author (5)： UNGER M A (California Inst. Technol., CA, USA) ,  CHOU H-P (California Inst. Technol., CA, USA) ,  THORSEN T (California Inst. Technol., CA, USA) ,  SCHERER A (California Inst. Technol., CA, USA) ,  QUAKE S R (California Inst. Technol., CA, USA)
Material： Science
Volume： 288  Issue： 5463  Page： 113-116  Publication year： Apr. 07, 2000 
JST Material Number： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Rubber ,...
Semi thesaurus term： ソフトリソグラフィー

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JST classification (2)： Techniques for samples  (BA02070O) ,  Medical materials  (GA05040H)

Terms in the title (4)： 多層 ,  ソフトリソグラフィー ,  微細加工 ,  バルブ