Art

J-GLOBAL ID：200902163433468668   Reference number：98A0450975

The structures for electrostatic servo capacitive vacuum sensors.

静電サーボ容量型真空センサの構造

Author (2)： WANG Y (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A66  Issue： 1/3  Page： 213-217  Publication year： Apr. 01, 1998 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： 真空