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J-GLOBAL ID：200902163479138115   Reference number：99A1026030

The R&D Trend of Micro-machine Technologes.

マイクロマシン技術の研究開発動向

Author (5)： ANMA MAMORU (静岡県静岡工技セ) ,  SATO NATSUO (静岡県静岡工技セ) ,  SATO KENJI (静岡県静岡工技セ) ,  YOSHIOKA MASAYUKI (静岡県静岡工技セ) ,  NAGATSU YOSHIYUKI (静岡県静岡工技セ)
Material： 静岡県静岡工業技術センター研究報告  (Reports of the Shizuoka Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
Issue： 44  Page： 17-20  Publication year： Sep. 1999 
JST Material Number： G0604A  ISSN： 0916-6572  CODEN： SSSHEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachine ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Terms in the title (3)： マイクロマシン技術 ,  研究 ,  開発動向